集成电路生产设备及过程的资格认证程序

资格认证的目的是提高生产过程和设备的效能。通过统计学方法描述和量化生产过程和设备的运行特征,成为资格认证成败的关键。

资格认证程序由三个阶段构成, 阶段一, 建立过程和设备基线;阶段二, 描述过程特征并优化, 确认其稳定性;阶段三,改进设备的可靠性,展示可制造性和竞争力。要完成每一阶段,都要用到一些重要的统计学方法。在进一步介绍如何使用统计学方法之前, 我们在本文中首先了解一下资格认证的每一个阶段及要达到的目标。下图显示的是资格认证各级段的流程图。

集成电路生产生产设备及过程资格认证三级流程图

阶段一, 建立过程和设备基线。

测量仪器, 测量系统, 过程和设备的效能

  1. 项目规划初始培训。

这是第一步,主要完成项目规划和商业运作相关内容。项目成员和客户要制定项目要达到的目标和为达到目标所需要的资源。内容包括:具体分列最后要完成的目标;数据收集的方法;结果如何发布;用以衡量成功与否的基线。开始对测量系统、生产设备、软件使用的培训,并持续贯穿于整个项目执行的全过程。

  1. 测量仪器容量测试 (Gauge Capability Study)

测量仪器容量测试的目的是保证测量工具能够完成需要的测量任务。保证持续不断的稳定性、准确性,测量值和实际值高度接近。测量数值的变化率保持在对特定目标测量允许的变动范围之内,同时意料之外的工具特征也受到统计过程控制限制。项目中的每一件测量工具都要经过测量仪器容量测试。接下来的博文中会逐段介绍几个基于统计学方法的实例。

  1. 被动数据收集

变化性的根源, 评估取样设计, 建立连续的稳定性,

  1. 总结
  2. 过程 & 设备硬件改进

阶段二, 描述过程特征并优化, 确认其稳定性。

阶段三,改进设备的可靠性,展示可制造性和竞争力。

摩托罗拉铁人方案,生产过程、工艺、软件 可靠性改进测试方案, 又称夜间设备可靠性改进计划。通过对设备极限使用, 即连续不停1000小时以上保持设备在极限端运转,模拟真实生产场景,观测并发现软、硬件出现的各种问题。一般是白天对制造流程故障溯源,提出并实施改进方案;夜间极端运转流程,观测,记录各种故障。为提高效率,工厂一般是一边实施铁人方案,一边在实际生产过程中使用改进成果。

马拉松方案,一种通过模拟真实使用状态,对设备使用效率量化的方法。  一般24小时不停,连续运转几个星期, 记录每次检修间隔的平均时长、中值、变化率等统计数字,从而推算设备在实际生产过程中的效能,以及对硅晶生产增加的成本。这种方法还可以用来检测硬件和软件的可靠性, 及早制定应对方案。

Author: ResearchTech

Research scientist interested in improving discovery productivity through better research method and organization design.

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